芯片抛光车间供液系统管路成套设计实战指南.pdfVIP

中北大学2014届毕业设计说明书

摘要

随着我国社会经济的发展，现代企业建设发展十分迅速，同时也对企业的基

础设施建设提出了更高的要求。而厂矿企业对供水供液的要求也越来越大，在供

在选择变频器的容量时最基本的原则加速时间与变频器容量选择的关系本章小结总结参考文献致谢第II页共II页中北大学届毕业设计说明书绪论课题的工程背景及意义随着我国社会经济的发展现代企业建设发展十分迅速同时也对企业的基础设施建设提出了更高的要求现

液系统方面面临的矛盾和问题日益突出。随着企业生产对供液质量和供液系统可

靠性要求的不断提高，利用先进的自动化技术、控制技术，设计出高性能、高节

能、能适应供液系统复杂环境的恒压、稳流等优良的供液系统成为必然趋势。

本课题针对芯片抛光车间生产的特点，对芯片抛光车间的供液系统管路进行

了研究，采用合理方案对供液系统进行了优化设计。相对于传统的供液管路系统，

本课题主要在供液原理、空间布局，设备选型等方面进行了改良，并用相关软件

进行了空间布局和结构安装图的绘制。

关键