CN119855779A 用以单一化晶圆的方法与装置 （罗伯特·博世有限公司 卡尔蔡司Smt有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119855779A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202380064609.2

(22)申请日2023.08.28

(30)优先权数据

102022209447.62022.09.09DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.07

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0735622023.08.28

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/052152DE2024.03.14

(71)申请人罗伯特·博世有限公司地址德国斯图加特

申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司

(72)发明人R·诺尔特迈耶A·凯尔贝雷尔

H·斯特尔T·亨恩

J·斯蒂德尔

(74)专利代理机构广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙)44446

专利代理师王力芳

(51)Int.Cl.

B81C1/00(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图5页

(54)发明名称

用以单一化晶圆的方法与装置

(57)摘要

CN119855779A本发明涉及一种单一化晶圆(100)的方法，该晶圆具有第一面(100a)与位于与该第一面(100a)相反的第二面(100b)，其中该方法包括以下步骤：以具有一个或多个承