GBT 42709.21-2026《半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法》标准立项发展报告.docx

GB/T42709.21-2026《半导体器件微电子机械器件第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法》标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SemiconductorDevices-Micro-electromechanicalDevices-Part21:TestMethodforPoissonsRatioofMEMSThinFilmMaterials

摘要

微电子机械系统（MEMS）技术作为融合微电子与精密机械的前沿交叉领域，已广泛应用于消费电子、汽车电子、生物医疗、航空航天及5G通信等战略新兴产