GBT 47902-2026 金刚石单晶抛光片标准立项发展报告.docx

金刚石单晶抛光片国家标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:DiamondSingleCrystalPolishingWafer(GB/T47902-2026)

摘要

关键词：金刚石单晶抛光片；半导体材料；国家标准；技术规范；质量分级；试验方法

Keywords:DiamondSingleCrystalPolishingWafer;SemiconductorMaterials;NationalStandard;TechnicalSpecification;QualityGrading;TestMet