陶瓷基板流延烧结作业规范.docx

陶瓷基板流延烧结作业规范

1.目的与适用范围

本作业规范旨在确立陶瓷基板生产过程中流延成型与高温烧结工序的标准化操作流程、工艺参数控制标准及质量检验规范。通过细化流延浆料的制备、生坯成型、排胶处理及高温致密化烧结等关键环节的技术要求，确保陶瓷基板在厚度一致性、致密度、表面光洁度、热导率及机械强度等核心指标上满足设计要求，从而保障电子封装及功率模块用陶瓷基板的最终产品质量与可靠性。

本规范适用于公司内部氧化铝（Al2O3）、氮化铝（AlN）等陶瓷基板流延烧结线的全流程生产作业，涵盖从原材料投入到产成品入库的所有工艺环节，包括但不限于生产作业人员、设备维护人员、工艺技术员及质量检验人员的操作与判定