高分辨透射电子显微镜点分辨率测定程序 标准立项发展报告.docx

高分辨透射电子显微镜点分辨率测定程序标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:MicrobeamAnalysis—AnalyticalElectronMicroscopy—ProceduresforDeterminingthePointResolutionofHigh-ResolutionTransmissionElectronMicroscope

摘要

高分辨透射电子显微镜（HRTEM）是纳米材料、半导体器件及量子功能材料原子尺度结构研究的核心表征手段，其点分辨率直接决定仪器分辨