CN119269532A 基于扫描的emmi检测系统及其检测方法 （合肥锁相光学科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119269532A

(43)申请公布日2025.01.07

(21)申请号202411574383.3

(22)申请日2024.11.06

(71)申请人合肥锁相光学科技有限公司

地址230061安徽省合肥市高新区块望江

西路900号中安创谷科技园A3A4栋7楼

769-5室

(72)发明人林豪彬沈金辉赵元孝

(74)专利代理机构上海启真专利代理有限公司

31569

专利代理师侯华颂

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N21/88(2006.01)

G01N21/01(2006.01)