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GB/T47926-2026《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:TechnicalSpecificationforMagneticSuspensionSelf-BearingCleanPumpsforSemiconductor

摘要

随着半导体制造工艺持续向纳米级节点演进，对制程环境中微污染物的控制要求已达分子级水平，传统机械轴承洁净泵因存在摩擦磨损、颗粒释放及润滑介质泄漏等固有缺陷，已难以满足先进制程对超高洁净度与高可靠性的双重需求。磁悬浮自轴承洁净泵凭借无接触悬浮运行、零摩擦磨损、无润滑介质及主动振动控制等技术优势，成为半导体湿法工艺、化学品输送及废气处理等领域的关键装备。然而，国内外尚缺乏针对该类新型泵产品的统一技术评价体系，制约了产品的工程应用与产业推广。为填补该领域标准空白，国家标准化管理委员会于2023年下达了《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》推荐性国家标准制定计划，标准编号GB/T47926-2026。本标准在系统梳理磁悬浮轴承技术、泵体设计、洁净度控制及可靠性验证等关键技术要素的基础上，规定了磁悬浮自轴承洁净泵的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等内容。标准的发布实施将有效规范和引领磁悬浮洁净泵产品的设计制造与质量评价，为