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- 2026-09-10 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119392207A
(43)申请公布日2025.02.07
(21)申请号202411589532.3C23C16/458(2006.01)
C23C16/509(2006.01)
(22)申请日2024.11.07
(71)申请人拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公
司
地址110171辽宁省沈阳市浑南区水家900
号
(72)发明人于棚唐振王卓梁贺茗
张艳喆
(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公
司31100
专利代理师韦东
(51)Int.Cl.
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