GBT 47749-2026 微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法标准立项发展报告.docx

微机电系统（MEMS）技术微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Micro-electromechanicalSystems(MEMS)Technology—TestMethodforLinearThermalExpansionCoefficientofMicro-electromechanicalSolidMaterials

摘要

关键词：微机电系统；固态材料；线性热膨胀系数；纳米压痕法；梁弯曲法；国家标准

一、引言

1.1研究背景

微机电系统（Micro-electrome