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测控技术

-94-数据采集与处理I

2020年第39卷第9期

毫米波收发组件微组装激光三维扫描技术研究

怀思然，甘志超，陈亭宇，王赫，阎炎

(航空工业北京长城航空测控技术研究所，北京101111)

摘要：毫米波收发组件微组装工艺复杂，芯片装配位置精度是影响收发组件整体性能的薄弱环节，自动

化三维扫描技术是解决该问题的有效途径。将线激光轮廓传感器和线性模组结合，搭建一体化毫米波

收发组件微组装三维扫描测量系统，实现了收发组件芯片的自动化在线测量和轮廓提取。该项技术有

效解决了传统收发组件装配精度检测视野范围小、扫描速率低、人工干预严重等问题，提高了测量速度

和测量精度，实现了收发组件装配加工与检测自动化系统的集成，可满足雷达系统装备高可靠性、高环