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宏／微运动控制的电感传感器动静态校准装置·79·

宏／微运动控制的电感传感器动静态校准装置

张海波，唐杨超，匡也

(1．黑龙江省计量检定测试院，哈尔滨黑龙江150036；

2．哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，哈尔滨黑龙江150001)

摘要：为改善电感位移校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题，采用宏／微运动控制方

法驱动校准装置作快速、精密、大范围定位。在简述校准方法工作原理及结构之后，对以静压双V导

勒／直线电机组合的宏动平台及以柔性铰压电陶瓷组合的微动平台进行动力学建模，并获得宏微平

台的传递函数。设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略，并进行建模和仿真分析，对比两种控

制策略下的测量结果并分析原因。设计并搭建实验平台后进行校准装置的性能测试，实验结果表明：宏

动跟随微动控制策略具有更高的动态频响性能，校准装置在全行程20mm内分辨力达到5nm，