CN119419164A 一种晶圆卡盘及其调平方法、晶圆键合设备 （拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119419164A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202411594892.2

(22)申请日2024.11.08

(71)申请人拓荆键科（海宁）半导体设备有限公

司

地址314499浙江省嘉兴市海宁市海宁经

济开发区芯中路8号3幢

(72)发明人鲁岐

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

专利代理师徐迪

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/68(2006.0