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- 2026-09-10 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119419141A
(43)申请公布日2025.02.11
(21)申请号202411589547.X
(22)申请日2024.11.07
(71)申请人拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公
司
地址110171辽宁省沈阳市浑南区水家900
号
(72)发明人姜宗帅吴凤丽杨华龙郭月
马硕
(74)专利代理机构深圳市精英创新知识产权代
理有限公司44740
专利代理师刘杰
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
权利要求书1页说明书7页附图5页
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