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飞秒激光驱动GaN基LED转移工艺研究.pdf

飞秒激光驱动GaN基LED转移工艺研究.pdf

    摘要

    微发光二极管（MicroLED）作为下一代显示技术的核心器件，凭借其低功耗、高

    响应速度和长使用寿命等显著优势，在显示、通信等领域展现出了广阔的应用前景，

    已经成为推动相关产业发展的重要技术方向。激光转移技术基于激光与材料界面相互

    作用机理，为解决MicroLED巨量转移技术提供了新的技术路径。然而，现阶段该技术

    在实际应用中仍面临诸多挑战，例如能量传递机制尚未完全阐明，在转移过程中易造

    成芯片损伤，且巨量转移平台技术尚未成熟。这些问题严重制约了激光转移技术在

    MicroLED工业化生产中

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