SJT 12239-2026 金属掩膜版用因瓦合金箔材 标准立项发展报告.docx

金属掩膜版用因瓦合金箔材标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:InvarAlloyFoilforMetalMask

摘要：

随着有机发光二极管（OLED）显示技术的飞速发展，高精度金属掩膜版（FMM）作为蒸镀工艺中的关键核心部件，其质量直接决定了显示面板的分辨率与良品率。因瓦合金（Invar，FeNi36）因其极低的热膨胀系数（CTE≈1.2×10??/℃）而成为制备金属掩膜版不可替代的基础材料。然而，长期以来我国在高品质因瓦合金箔材领域高度依赖进口，严重制约了产业链的自主可控与安全发展。为推动电子行业基础材料的技术进步与标准化进