CN119433541A 一种无氯气产生的酸性蚀刻液回收方法及装置 （广东德同环保科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119433541A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411584789.X

(22)申请日2024.11.07

(71)申请人广东德同环保科技有限公司

地址528200广东省佛山市南海区九江镇

龙高公路敦上大道2号4楼401

(72)发明人关家彬李卓强卢健仔

(74)专利代理机构佛山市禾才知识产权代理有

限公司44379

专利代理师王珊

(51)Int.Cl.

C23F1/46(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图1页

(54)发明名称

一种无氯气产生的酸性蚀刻液