CN119437512A 一种mems复合薄膜应力梯度测量装置及方法 (河海大学).pdfVIP

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  • 2026-09-11 发布于重庆
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CN119437512A 一种mems复合薄膜应力梯度测量装置及方法 (河海大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119437512A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411591047.X

(22)申请日2024.11.08

(71)申请人河海大学

地址213200江苏省常州市金坛区河海大

道1915号

(72)发明人刘海韵王慧斌张丽丽陈哲

(74)专利代理机构南京纵横知识产权代理有限

公司32224

专利代理师董建林

(51)Int.Cl.

G01L5/00(2006.01)

G01B7/02(2006.01)

G01N3/08(2006.01)

权利要求书2页说明书

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