CN119446999A 基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质 (无锡卓海科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-11 发布于重庆
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CN119446999A 基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质 (无锡卓海科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119446999A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411577024.3

(22)申请日2024.11.06

(71)申请人无锡卓海科技股份有限公司

地址214000江苏省无锡市新吴区珠江路

97号

(72)发明人王世俊相宇阳俞胜武

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

专利代理师侯军洋

(51)Int.Cl.

H01L21/68(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书3页说明书11页附图4页

(54)发明名称

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