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CN119495604A 一种芯片键合装置和方法 （拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-09-12 发布于重庆
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CN119495604A 一种芯片键合装置和方法 （拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119495604A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202411587746.7

    (22)申请日2024.11.07

    (71)申请人拓荆键科（海宁）半导体设备有限公

    司

    地址314499浙江省嘉兴市海宁市海宁经

    济开发区芯中路8号3幢

    (72)发明人谷洪阳

    (74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

    司31100

    专利代理师徐伟

    (51)Int.Cl.

    H01L21/67(2006.01)

    H01L21/68(2006.01)

    权利要求书2页说明书9页附图6

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