水下流场传感器工艺研究.pptx

水下流场传感器工艺设计刘梦洋智能仿生与微纳系统研究所2018.05.07

总体研究目标：水下流场传感器1.柔性复合材料传感器流场感知（动压、静压、流速）原理、结构设计和材料选择（性能指标、耐腐蚀）2.传感器的制造与组装3.传感器水下测试

近期工作计划1.G/PI压阻阵列(1)压阻阵列可行性尝试(2)压阻阵列工艺确定(3)压阻阵列工艺制造，设计测试电路进行压力分布测试2.水下流场传感器方案的提出(1)G/PVDF放电击穿为压阻材料可行性尝试(2)流场感知传感器工艺设计(3)流场传感器制造调试

本周主要进展及存在问题1.水下流场传感器工艺路线a:光刻SU-8胶膜，30mm。另一玻璃片，溅射7mm宽金电极。b:胶膜上旋涂PDMS，50mm。将玻璃片金面朝下，贴在PDMS上。c:加热固化。将电极翻模在PDMS上表面作为下部电极。d:旋涂G/PVDF混合溶液，石墨烯质量分数0.1wt%，3mm。e：复合膜上表面用物理掩膜溅射铬金电极。f：旋涂PDMS，厚度为3mm。g：粘贴玻璃柱，长度2mm，直径500mm。

本周主要进展及存在问题1.水下流场传感器工艺路线1:左侧用于水压动压测试。利用空腔处的薄膜弯曲时拉伸，PVDF的d31产生压电信号。空腔与外部水域连通，避免水深变化造成干扰。2:中侧用于水压静压测试，即为水深测试。利用G/P