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- 2026-09-13 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119596632A
(43)申请公布日2025.03.11
(21)申请号202411553645.8
(22)申请日2024.11.02
(71)申请人深圳国微芯科技有限公司
地址518000广东省深圳市南山区沙河西
路国实大厦
(72)发明人魏丽洁
(74)专利代理机构大连星河彩舟专利代理事务
所(普通合伙)21263
专利代理师刘斌
(51)Int.Cl.
G03F1/36(2012.01)
G03F7/20(2006.01)
权利要求书4页说明书17页附图2页
(54)发明名称
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