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传感器行业发展规划

20xx年xx月

MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器，具有很

多新的特性，相对传统传感器其具有更大的优。在追求微型叱的当

代，其具有良好的发展前景，必将受到各个国家越来越多的重视。

MEMS传感器的发展离不开MEMS技术商业化的推动。20世纪90年

代，PC和信息技术兴起，深度反应粒子刻蚀(DRTE)技术以及围绕该

技术发展的多种新型加工工艺极大地推动了MEMS技术的发展。

第三轮商业化出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及相关

器件而成为光纤通讯的补充。尽管该市场现在萧条，但微光学器件从

长期看来将是MEMS一个增长强劲的领域。

2006年以后，消费品市场快速增长，MEMS产业借此机会打破了过

去10多年来依赖汽车应用的宿命，其增长驱动力向手机、游戏系统和

体育应用等方面转移。

过去几年中，全球MEMS传感器的市场规模一直保持着稳步的增长。

有两家机构的市场规模预测值由于统计口径不一致造成较大差异，但

总体而言，MEMS传感器发展前景看好。

汽车和消费是其主要细分领域，环境类MEMS