GBT 6167-2026 尘埃粒子计数器性能试验方法PPT课件.pptxVIP

GB/T6167-2026尘埃粒子计数器性能试验方法

目录02性能参数要求01标准概述03试验环境设置04试验方法步骤05数据测量与分析06验证与报告要求

标准概述01

标准背景与目的行业技术迭代需求随着电子半导体、生物制药等领域对洁净环境要求的提升，旧版标准（GB/T6167-2007）在超细粒子检测（如0.1μm）、在线监测等新场景中已无法满足技术需求，亟需修订以适应行业发展。统一测试基准新标准旨在规范尘埃粒子计数器的性能试验方法，确保不同厂商仪器的测量结果具有可比性，为洁净室分级、过滤器检漏等关键应用提供可靠依据。提升国产仪器国际竞争力通过引入国际先进的测试方法（如计数效率、粒径分辨率等指标），推动国产仪器技术升级，增强在全球市场的认可度。响应政策与行业呼吁由住建部牵头，联合科研院所及头部企业共同编制，填补了国内在高精度粒子计数器性能验证标准上的空白。

适用范围界定排除范围说明不适用于非光散射原理（如凝结核计数器）或专用于气溶胶研究的特殊仪器，此类设备需参考其他专项标准。应用场景明确针对制药GMP、半导体洁净室、医疗器械生产等受控环境中的粒子浓度监测，同时适用于第三方检测机构的仪器校准与验证。仪器类型覆盖适用于光散射原理的尘埃粒子计数器，包括便携式、在线式及实验室用设备，涵盖0.1μm至10μm粒径范围的检测需求。

核心术语定义仪器对特定粒径粒子的检测能力与理论值的百分