CN119560423A 承载基座传送方法及半导体加工系统 (楚赟精工科技(上海)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-13 发布于重庆
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CN119560423A 承载基座传送方法及半导体加工系统 (楚赟精工科技(上海)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119560423A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202411552202.7C23C16/458(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

(22)申请日2024.11.01

C23C16/54(2006.01)

(71)申请人楚赟精工科技(上海)有限公司

地址201210上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区张江路665号三层

(72)发明人王东兴陈凯辉刘超

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通

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