ISO 19674-2025 精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷） 陶瓷涂层的试验方法 应用Stoney公式测定陶瓷涂层的内应力 标准立项发展报告.docxVIP

精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷）陶瓷涂层的试验方法应用Stoney公式测定陶瓷涂层的内应力标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Fineceramics(advancedceramics,advancedtechnicalceramics)—Methodsoftestforceramiccoatings—DeterminationofinternalstressinceramiccoatingsbyapplicationoftheStoneyformula

【摘要】随着精细陶瓷涂层在半导体、航空航天、刀具模具、生物医疗、能源装备等领域的广泛应用，涂层内应力已成为决定其结合强度、抗裂纹能力与服役寿命的关键参数。ISO19674-2025《精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷）—陶瓷涂层的试验方法—应用Stoney公式测定陶瓷涂层的内应力》于2025-06-19实施，现行有效。该标准针对陶瓷涂层内应力评价方法不统一、结果可比性不足等问题，规定了基于基片曲率法的Stoney公式测试原理、试样制备、曲率测量、厚度与弹性常数获取、应力计算、不确定度评估及试验报告要求。标准适用于厚度远小于基片、以弹性变形为主的陶瓷涂层平均残余应力测定，可为PVD、CVD、热喷涂、溶胶-凝胶等工艺制备