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CN119517828A 一种静电吸盘及其制造方法 （上海玄亨科技股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-09-14 发布于重庆
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CN119517828A 一种静电吸盘及其制造方法 （上海玄亨科技股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119517828A

    (43)申请公布日2025.02.25

    (21)申请号202411573573.3

    (22)申请日2024.11.06

    (71)申请人上海玄亨科技股份有限公司

    地址201601上海市松江区米易路166号1

    幢110室

    (72)发明人朱宁

    (74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

    公司31323

    专利代理师王振徐雯琼

    (51)Int.Cl.

    H01L21/683(2006.01)

    权利要求书2页说明书6页附图2页

    (54)发明名称

    一种静电吸盘及其制造方法

    (57)摘要

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