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洁净车间环境管控实施规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、洁净车间环境管控总则与目标 3

二、洁净室等级划分与分区标准 4

三、洁净环境布局与结构设计要求 9

四、空气净化系统设计与运行规范 11

五、新风风量控制技术参数 15

六、压差梯度监控与维持方案 17

七、温度与湿度监测与控制标准 20

八、洁净尘埃监测与分析要求 23

九、微生物浮落与沉降控制标准 26

十、洁净表面微生物监测与评价指标 29

十一、洁净工艺水质监测与维护规范 31

十二、洁净车间定期清洁与消毒流程 34

十三、洁净人员健康管理与卫生要求

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