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超纯化学品输送管理规范

第一章总则与适用范围

1.1目的与依据

超纯化学品作为半导体、液晶面板、光伏及高端生物医药等行业的核心工艺材料，其纯度直接决定了最终产品的良率与性能。为了确保超纯化学品在接收、存储、输送及使用全过程中的品质不受污染，保障生产安全，特制定本管理规范。本规范依据国家关于危险化学品管理的相关法律法规、半导体设备及材料国际标准（SEMI标准）以及国际通用的洁净室管理规范，结合企业实际生产运营需求编制，旨在建立一套科学、严谨、可操作的化学品输送管理体系。

1.2适用范围

本规范适用于厂区内所有涉及超纯化学品输送的环节，包括但不限于化学品仓库、分配间、洁净室内的二次配系统、以