玻璃基板清洗干燥作业规程.docx

玻璃基板清洗干燥作业规程

1.总则

1.1目的与适用范围

本规程旨在规范液晶显示器及半导体行业中玻璃基板清洗干燥作业的全过程管理，确保基板表面的洁净度、干燥度符合后续制程（如薄膜沉积、光刻、涂布等）的严格质量要求。本作业规程适用于公司内部所有尺寸及类型的TFT-LCD、OLED玻璃基板在切割、磨边后的清洗干燥工序，以及返工基板的二次清洗作业。所有涉及该工序的操作人员、设备维护人员、品质检验人员及技术管理人员必须严格遵守本规程。

1.2基本原则

清洗干燥作业应遵循“预防为主、过程控制、持续优化”的原则。在作业过程中，必须严格控制洁净室环境、化学品纯度、纯水水质及干燥气体质量。任何可能导致微粒