CN119465061A 一种晶圆承载装置及半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119465061A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411570646.3

(22)申请日2024.11.05

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人田西强叶华董涛佘清

(74)专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限

公司11505

专利代理师孙建康

(51)Int.Cl.

C23C14/50(2006.01)

C23C14/14(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

H01L21/673(2006.01)