JBT 15544-2026 微加工（MEMS）红外黑体辐射源.pptxVIP

JB/T15544-2026微加工（MEMS）红外黑体辐射源

目录02技术原理基础01标准概述03设计规范要求04制造过程控制05测试与验证方法06应用与维护指南

标准概述01

标准背景与制定目的保障量值溯源明确黑体辐射源的有效发射率、温度稳定性等核心计量特性要求，确保红外测温、热成像等应用场景的量值准确性和可追溯性。促进产业升级通过规范MEMS红外黑体辐射源的设计、制造和检测流程，推动我国红外计量设备从传统制造向精密微加工技术转型，提升产品国际竞争力。填补技术空白JB/T15544-2026针对微加工（MEMS）红外黑体辐射源领域缺乏统一技术规范的问题，首次系统定义了该类产品的性能指标、测试方法和质量要求，为行业提供技术依据。

适用于采用MEMS工艺制造的红外黑体辐射源，包括但不限于微加热阵列式、薄膜式、悬臂梁式等结构类型，覆盖中波红外（3-5μm）和长波红外（8-14μm）波段。产品类型约束对象涵盖设计方（需满足标准中结构设计要求）、制造商（需执行标准规定的工艺控制）、检测机构（需采用标准指定的校准方法）。产业链环节规范工业测温（如半导体制造）、医疗设备校准（如红外热像仪）、科研实验（如材料发射率研究）等场景中使用的MEMS黑体辐射源。应用领域不适用于非MEMS工艺的传统黑体辐射源（如腔式黑体）、非红外波段的辐射源（如紫外校准源）以及非标准温度范围（如超高温1000℃）的