《氩团簇溅射有机材料深度剖析中产额体积的测定方法》.docxVIP

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表面化学分析二次离子质谱氩团簇溅射有机材料深度剖析中产额

体积的测定方法

1范围

本文件规定了一种测量和报告特定有机材料氩簇溅射产额体积的方法。该方法需要一个或多个由指定材料制成的厚度在50~1000nm之间、均匀的薄膜作为测试样品，薄膜沉积于平整基底上，基底与指定材料的化学成分不同。

本文件适用于指定材料层在深度方向上组成均匀的测试样品，不适用于特定材料中化合物深度分布不均匀的情况。本文件适用于溅射离子束使用光栅扫描的仪器，以确保分析区域内离子剂量恒定不变。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

ISO18115-1：2013表面化学分析词汇第1部分：通用术语及谱学术语

注：GB/T22461.1-2023表面化学分析词汇第一部分：通用术语及谱学术语（ISO18115-1:2013,IDT）

3术语和定义

ISO18115-1：2013中界定的术语和定义适用于本文件。

4符号与缩略语

a：用于测定Y的二次离子数

b：用于测定Y的不同厚度膜层数

A：样品上溅射离子束光栅扫描图形面积

d：待测溅射产额体积材料的已知薄膜厚度

D：溅射离子