SJ/T12218-2026《电子级三氯化铟》标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:SJ/T12218-2026ElectronicGradeIndiumTrichloride
摘要
随着第五代移动通信(5G)、人工智能、物联网及新一代显示技术的迅猛发展,化合物半导体材料,特别是磷化铟(InP)基器件,因其优异的高频特性和光电性能,成为支撑下一代信息产业的关键基础材料。电子级三氯化铟(InCl?)作为制备高纯铟及磷化铟外延片、高纯铟盐和有机铟化合物的重要前驱体原料,其纯度与杂质控制水平直接决定了终端器件性能的优劣。然而,长期以来,
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