CN119483198A 一种静电卡盘电源和半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119483198A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411555699.8

(22)申请日2024.11.01

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人纪安宽薄海英彭宇霖刘晓行

王松涛李华

(74)专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限

公司11505

专利代理师张婷

(51)Int.Cl.

H02M1/00(2007.01)

H02M7/06(2006.01)

H01L21/683(2006.01)