1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内外标准规范

硅材料提纯车间建设规范.docx

硅材料提纯车间建设规范.docx

    PAGE

    硅材料提纯车间建设规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、硅材料提纯车间建设总则 3

    二、场址选址与总体规划要求 7

    三、车间空间布局与功能分区设计 11

    四、洁净室等级划分与环境控制标准 15

    五、建筑结构安全与用材料技术规范 20

    六、洁净墙地面施工工艺要求 23

    七、空调暖通与空气净化系统设计 26

    八、工业用水处理与回用系统建设 30

    九、特种气体输送与净化系统规范 33

    十、废气处理与尾气排放工程标准 35

    十一、工艺设备选型与安装技术要求 38

    十二、动力电源与电力配电系统设计 41

    十三、工业供气与备用供气

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >