CN119436730A 一种冷却装置及工艺设备、基板制造方法 （京东方科技集团股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119436730A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411570030.6

(22)申请日2024.11.05

(71)申请人京东方科技集团股份有限公司

地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号

申请人成都京东方光电科技有限公司

(72)发明人余华喜康世磊陆忠袁娜娜

倪水滨李儒健王近东

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师姜精斌

(51)Int.Cl.

F25D31/00(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H10K71/00(2023.01)