氧化硅双微环芯腔中的受限回音壁模式及其传感应用.docx

PAGE8

PAGE7

PAGE6

氧化硅双微环芯腔中的受限回音壁模式及其传感应用

摘要

近些年来，在基础和应用研究领域中光学微腔的角色越来越重要，特别是回音壁模式的光学微腔，因为它的高品质因子和小模式体积，且易于片上集成，所以在非线性光学、光学传感和光学捕获等方面具有极其重要的研究价值。通过对光学微腔的介绍，本文阐述了光学传感技术和光学捕获技术理论，我们设计了氧化硅双微环芯腔的结构并对其模式分布、影响因素、传感特性和光学梯度力进行研究，从而为实现高灵敏度传感和光学捕获等应用提供了理论参考。主要从以下四个方面进行研究汇报：

概述光学微腔的研究背景，阐述了回