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无尘电子组装车间建设规范.docx

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    无尘电子组装车间建设规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则与适用范围 4

    二、洁净度划分与环境标准 5

    三、车间布局与功能分区设计 7

    四、洁净室建筑结构设计规范 10

    五、地面处理与墙面施工要求 12

    六、天花板吊顶施工技术标准 15

    七、空调与空气净化系统设计 17

    八、通风循环与风机控制方案 20

    九、电气与照明系统配置 22

    十、供排水与动力电源系统规划 25

    十一、工艺用气与特种气体设计 27

    十二、静电防护（ESD）系统与接地布线 29

    十三、洁净室淋淋设备安装规范 31

    十四、人员出入与防护装

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