IEC 63616：2025 微波和毫米波频率下金属薄膜电导率的测量 平衡式圆盘谐振器法标准立项发展报告.docxVIP

微波和毫米波频率下金属薄膜电导率的测量平衡式圆盘谐振器法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:MeasurementoftheConductivityforMetalThinFilmsatMicrowaveandMillimeter-WaveFrequencies—Balanced-TypeCircularDiskResonatorMethod

摘要

随着5G/6G通信、毫米波雷达、高速集成电路及太赫兹技术的快速发展，金属薄膜在微波和毫米波频段的电导率精确测量已成为电子材料表征领域的关键基础问题。传统直流四探针法和低频阻抗法无法准确反映金属薄膜在高频条件下的电学行为，亟需建立标准化的高频电导率测量方法。国际电工委员会（IEC）于2025年11月28日正式发布了IEC63616:2025《微波和毫米波频率下金属薄膜电导率的测量——平衡式圆盘谐振器法》，该标准规定了利用平衡式圆盘谐振器测量金属薄膜在微波和毫米波频段复电导率的原理、装置、程序及不确定度评定方法。本标准适用于厚度在纳米至微米量级的各类金属薄膜材料，测量频率范围覆盖1GHz至110GHz。该标准的发布填补了高频段金属薄膜电导率标准化测量方法的空白，为通信器件设计、材料研发和质量控制提供了统一的技术依据，对推动高频电子材料产业的规范