T/ICMTIA ESG0023-2022集成电路用混合气体 10%甲烷/氩.pdf

T/ICMTIAESG0023-2022集成电路用混合气体10%甲烷/氩标准主要内容如下：

1.范围：规定了集成电路用混合气体中甲烷和氩气混合物的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

2.术语和定义：明确了集成电路用混合气体、甲烷、氩气等术语和定义。

3.技术要求：规定了混合气体中甲烷和氩气的含量范围，以及混合气体的纯度要求。

4.试验方法：详细介绍了混合气体中甲烷和氩气的含量检测方法，包括采样、检测、数据处理等步骤。

5.检验规则：规定了混合气体检验的周期、检验项目、不合格品处理等规则。

6.标志、包装、运输和贮存：规定了混合气体的包装标志、包装方式、运输方式和贮存要求。