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- 2026-09-17 发布于四川
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T/CI407-2024标准主要内容包括以下方面:
1.激光刻蚀机的性能要求:包括激光功率、光束质量、光斑大小、光斑稳定性、光斑重复性、激光脉冲宽度、脉冲重复频率等参数的要求。
2.激光刻蚀机的光学系统要求:包括光学元件的清洁度、透镜材料、光学元件的装配精度、光路稳定性等要求。
3.激光刻蚀机的机械系统要求:包括整机结构、传动机构、移动机构、冷却系统等的要求,以确保设备的稳定性和可靠性。
4.激光刻蚀机的安全性能要求:包括激光安全警告、激光防护措施、电气安全保护措施等的要求,以确保操作者的安全。
5.测试方法与实验要求:包括激光刻蚀机的性能测试方法、光学系统测试方法、机械系统测试方法、安全性能测试方法等的要求,以及实验数据的记录和处理方法。
6.其他相关要求:包括设备的维护保养、使用寿命、售后服务等方面的要求。
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