ISO 166662025 表面化学分析 全反射X射线荧光 原理和一般要求标准立项发展报告.docx

表面化学分析全反射X射线荧光原理和一般要求标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SurfaceChemicalAnalysis—TotalReflectionX-rayFluorescence—PrinciplesandGeneralRequirements

摘要

全反射X射线荧光（TotalReflectionX-rayFluorescence,TXRF）分析技术自20世纪70年代提出以来，经过半个世纪的发展，已从实验室前沿研究手段成长为半导体、环境科学、生命科学、材料科学及地质冶金等领域不可或缺的超痕