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- 2026-09-17 发布于四川
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T/CI1458-2026标准主要内容包括:
1.薄膜晶体管(TFT)光刻胶的基本性能要求,包括物理性能、化学性能、环境稳定性等。
2.对不同类型的光刻胶材料,如环氧树脂型、聚酰亚胺型、聚酯型等,应具有的特性和性能要求。
3.对光刻胶的涂布工艺、显影工艺、蚀刻工艺等制备过程的要求,以确保光刻胶的质量和性能。
4.对光刻胶的安全性要求,包括对操作人员、环境以及产品本身的安全性。
5.对光刻胶的检测方法和技术要求,包括外观检测、粒度检测、折射率检测、密度检测、黏度检测等。
6.对光刻胶的耐候性、耐溶剂性、耐高温等特殊性能的要求。
7.对光刻胶的可靠性测试方法和技术要求,包括老化测试、耐电压测试、耐腐蚀测试等。
以上是T/CI1458-2026标准的主要内容,包括对光刻胶的基本性能要求、制备过程要求、安全性要求、检测方法和技术要求等。
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