ISO 172972025 微束分析 聚焦离子束在TEM试样制备中的应用 词汇标准立项发展报告.docx

微束分析聚焦离子束在TEM试样制备中的应用词汇标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Microbeamanalysis—FocusedionbeamapplicationforTEMspecimenpreparation—Vocabulary

摘要

随着纳米科学与材料科学的迅猛发展，透射电子显微镜（TEM）作为微观结构表征的核心工具，其试样制备质量直接影响分析结果的准确性与可靠性。聚焦离子束（FIB）技术凭借其定点加工、高精度切割及薄片化处理的独特优势，已成为TEM试样制备领域不可或缺的关键手段。然而，由于该技术涉