《GBT 31986-2026电子气体 八氟丙烷》培训.pptxVIP

《GB/T31986-2026电子气体八氟丙烷》培训

目录

02

技术要求

01

标准概述

03

试验方法

04

检验规则

05

包装与储运

06

安全与环保

标准概述

01

标准背景与制定目的

适应半导体产业升级

随着高端半导体制造工艺对电子气体纯度要求不断提升，旧版标准已无法满足先进制程需求，亟需修订以对接国际先进水平。

新版标准替代2015版，通过细化技术指标和检测方法，为电子气体生产商和使用方提供更科学、严谨的质量控制依据。

完善八氟丙烷国家标准有助于提升国内电子气体产品质量，打破技术壁垒，推动集成电路产业链自主可控发展。

规范行业质量控制

推动产业国产化

标准适用于以工业八氟丙烷为原料，经提纯精制后用于半导体制造的电子级八氟丙烷，涵盖产品的技术指标、采样及检验全流程。

根据不同半导体制造工艺的实际需求，对八氟丙烷产品进行分级规定，确保产品特性能够精准匹配各类应用场景。

明确了电子级八氟丙烷的纯度界限，并针对特定杂质组分设定了严格限值，以保障在刻蚀与清洗工艺中的应用安全性。

适用范围

核心定义

技术分级

本标准界定了电子气体八氟丙烷的技术要求、试验方法及检验规则，适用于半导体制造工艺中所需的八氟丙烷产品，为其生产与验收提供规范。

适用范围与核心定义

引用标准与规范文件

基础规范引用

包装运输标准

标准引用了GB/T1.1的标准化工作导则，确立了本文件的结构框架和起草规