《gb-t 47625-2026精细陶瓷 平行光束x射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量》培训.pptxVIP

《gb-t47625-2026精细陶瓷平行光束x射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量》培训

目录

02

平行光束X射线衍射法原理

01

标准背景与适用范围

03

仪器设备与样品制备

04

测试步骤与参数设置

05

数据分析与结果计算

06

结果评定与标准应用

标准背景与适用范围

01

随着第三代半导体产业的快速发展，单晶薄膜（晶圆）的结晶质量直接决定器件性能，亟需统一规范的检测方法标准来指导生产与研发。

产业升级需求

标准编制背景与目的

对接国际标准

规范测试方法

本标准结合我国实际情况，采用ISO、IEC等国际国外组织的标准，旨在提升国内精细陶瓷检测水平，促进国际贸易与技术交流。

通过