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- 2026-09-19 发布于北京
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执行序设备
操作内容备注
情况号状态
确认
1B
或
1C
真空泵运行正常TV
画面
2B
或
1运行
3B
2
检查1A真空泵
1LFA01AP001停止TV
画面
1B
3
检查1A真空泵快关门
1LFA12AA360关闭TV
画面
1A
4
检查1A真空泵阀门
1LFA1
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