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半导体晶圆制造安全风险管控培训课件
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一、半导体晶圆制造安全风险管控概述 4
二、半导体生产环境的特殊性与风险特征 6
三、晶圆制造工艺中的物理风险识别 9
四、危险化学品管理与储存安全管控 12
五、易燃易爆特种气体安全防护技术 16
六、高压电力与机电设备作业安全规范 20
七、静电防护与电子元安全风险防控 23
八、光刻设备激光与辐射防护安全管理 25
九、洁净室作业安全规程与防护要求 28
十、自动化搬运系统与机器人作业安全 30
十一、特种压力容器与管路系统安全标准 33
十二、化学
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