2026年真空电子器件化学零件制造工专项题库(附答案与解释).docx

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真空电子器件化学零件制造工专项题库(附答案与解释)

一、单选题（只有一个正确答案）

1.真空电子器件化学零件制造中，为了防止金属零件在化学清洗过程中发生腐蚀，通常在清洗液中添加适量的哪种化学试剂？

A.硫酸

B.盐酸

C.磷酸

D.柠檬酸

答案：D

解析：柠檬酸是一种温和的络合剂，可以去除金属表面的氧化膜和金属离子，且对基体金属腐蚀性较小，常用于精密零件的化学清洗。

2.在化学气相沉积（CVD）工艺中，作为源材料的卤化物气体（如四氯化硅）在加热的基片表面发生反应，生成的固态薄膜被称为？

A.多晶硅

B.硅烷

C.氮化硅

D.氧